技术：气动隔膜

特性：

• 专为半导体行业设计
• 非金属，流体通道内无O型圈
• 渗流设计
• 无金属固定件，如拉杆或支架
• 有集成脉动均衡器可选
• 100级净室内组装

技术数据：

• 机加工的塑料设计，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）两种材质
• 优化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技术
• 五种尺寸：从10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）
• NPT接口
• 最高耐受温度：200° C（390°F）
• 精确的流体输送

性能数据：

• 最大流量：200lpm（52gpm）
• 最大吸程：干吸4m（13.1'），湿吸9m（29.5'）